Der 2011 gegründete Arbeitskreis der EtherCAT Technology Group hat sich zur Aufgabe gesetzt, die EtherCAT Standards für die Halbleiterbranche zu erarbeiten. Während die Basistechnologie – also das „Wie“ der Kommunikation – natürlich unverändert bleibt, definieren die Geräteprofile das „Was“ für die branchenspezifischen Geräte wie etwa Massflow-Controller, Hochvakuum-Pumpen, Plasma- und Hochfrequenz-Generatoren. Hierzu trifft sich die Working Group zweimal jährlich zu mehrtägigen Meetings. An den Sitzungen, die seit der Pandemie abwechselnd im Silicon Valley in Kalifornien und online stattfinden, nehmen regelmäßig 50-80 Experten teil. Diese vertreten sowohl Anbieter von Geräten als auch Hersteller von Halbleiterfertigungseinrichtungen. Auch deren Kunden – die Chiphersteller – sind immer wieder dabei. Damit deckt der Arbeitskreis die ganze Zulieferkette ab und sorgt so dafür, dass die erarbeiteten Spezifikationen die Anforderungen sowohl der Anbieter als auch deren Kunden erfüllen.

Im Rahmen des kürzlich abgehaltenen 24. Treffens wurden weitere vier Profilspezifikationen verabschiedet und damit die Arbeit der entsprechenden Task Groups erfolgreich zum Abschluss gebracht: Profile für Liquid Flow Controller, für Temperatur-Sensoren für Wafer-Bearbeitungskammern; für Sensoren für die Spannungs- und Stromfrequenz-Analyse, sowie für spezielle Prozesssteuerungsventile. Für vier weitere Geräteprofile ist die Arbeit im vollen Gange. Beim Meeting wurde zudem eine weitere Task Group gestartet, die das Geräteprofil für Optical Emission Spectroscopy (OES) erarbeiten wird. Dieses Profil wird besonders von der effizienten Bandbreitennutzung des EtherCAT Protokolls profitieren: bis zu 500 Byte zyklische Rohdaten müssen pro Kommunikationszyklus an die Steuerung übertragen werden. Damit ist die Serie der speziellen EtherCAT-Geräteprofile für die Halbleiterindustrie auf insgesamt 24 Spezifikationen angewachsen.

Zum Jubiläums-Meeting 25 im Mai 2024 werden sich die Experten wieder persönlich im Silicon Valley treffen, wo der Arbeitskreis abwechselnd bei den Branchenriesen Applied Materials und LAM Research zu Gast ist. Der regelmäßige persönliche Kontakt hilft dabei die vertrauensvolle Zusammenarbeit, die die TWG Semi seit Jahren kennzeichnet, zu erhalten und auszubauen.

Über EtherCAT®:

EtherCAT ist die Industrial Ethernet-Technologie, die sich durch herausragende Performance, niedrige Kosten, flexible Topologie und einfache Handhabung auszeichnet. EtherCAT wurde 2003 erstmals vorgestellt, ist seit 2007 internationaler IEC- sowie SEMI-Standard. EtherCAT ist eine offene Technologie: Jeder ist eingeladen, EtherCAT zu implementieren und zu nutzen.

• Weitere Informationen erhältlich im Internet unter www.ethercat.org.